複合型超高真空成膜装置
五源リボルバー式スパッタ装置、アルゴンイオンミリング装置、抵抗加熱蒸着装置がin-situで連結。傾斜／アニール機構付き
| マイクロフォーカスBrillouin散乱分光システム | |
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＜波数分解BLS、位相分解BLS、時間分解BLS＞
マイクロフォーカスBrillouin 散乱分光装置：タンデム型ファブリペロー干渉計（3+3）、XYZステージ、アクティブ光学定盤から構成
RF信号発生器、サンプリングオシロスコープ、パルスジェネレータPSPL10070A、超高速デジタイザ、パルスパターンジェネレータ
| マイクロフォーカス時間分解Kerr効果測定システム | |
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マイクロフォーカスKerr効果測定装置：XYZステージ、CCDカメラ、アクティブ光学定盤から構成
RF信号発生器、サンプリングオシロスコープ、パルスジェネレータPSPL10070A、超高速デジタイザ、パルスパターンジェネレータ
マイクロプローバ装置（DC−40 GHz）：面内XY磁場
ベクトルネットワークアナライザ、サンプリングオシロスコープ、リアルタイムオシロスコープ
高速パルスジェネレータPSPL10070A, 高出力パルスジェネレータPSPL10300B
RF信号発生器、パルスパターンジェレネレータ、DC電流電圧発生器、マルチメータ、ロックインアンプ
超微細加工装置：高速マスクレス露光装置、ダクトレスヒュームフード、スピンコーター, 光学顕微鏡（x5倍〜x100倍)
CNCフライス、３Dプリンタ、３Dスキャナー、レーザー刻印器、CNC巻線器
